JC/T 181-2011 半导体用透明石英玻璃器件 检测标准

1 范围

本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等。

本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃倸温桶、透明石英托架、透明石英瓶和透明石英清洗缸等。

其他用途的透明石英玻璃器件可参照本标准执行。

2 规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

JC/T 597-2011 半导体用透明石英玻璃管

JC/T 2064-2011 半导体用透明石英玻璃棒

3 术语和定义

JC/T 597-2011 界定的术语和定义适用于本文件。

4 分类和标记

4.1 分类

按用途分为太阳能级透明石英玻璃器件(T级)和电子级透明石英玻璃器件(级)。

4.2 标记

产品按分类(T或D)、名称、规格、生产批号和标准编号的序号标记。

示例：符合JC/T 181-2011，外径为305Mm，长度为2000mm，生产批号为20090710的电子级透明石英玻璃扩散管标记为：

D-扩散管-305×2000-20090710-JC/T 181-2011

5 材料

5.1 透明石英玻璃器件所用石英管、石英棒应符合JC/T 597-2011及JC/T 2064-2011中对应的T级或D级产品的要求。

5.2 透明石英玻璃器件所用石英板应无肉眼可见的气泡、气线、划痕等外观缺陷，杂质元素含量应符合JC/T 597-2011中对应的T级或D级产品的要求。

6 要求

6.1 规格尺寸及尺寸偏差

由供需双方商定。

6.2 外观质量

6.2.1 所有接口的焊点应结实、牢固，接缝应平滑、无堆料、无变形。

6.2.2 不允许有析晶、炸裂、云雾、色斑、水迹、脏物;揪痕应无明显凸凹不平、光滑平整。

6.2.3 在平台上放置不应有明显歪斜、晃动，外形应均匀对称。

6.2.4 磨口不允许有亮面。

6.3 应力

透明石英玻璃器件在应力仪中观察只允许呈现均匀紫红色。

6.4 磨口密封性

透明石英玻璃器件盛水后不渗出。

7 试验方法

7.1 规格尺寸及尺寸偏差

采用分辨率不低于被测参数允许公差的三分之一的仪器或设备。

7.2 外观质量

在自然光下，采用目测检查。

7.3 应力

将产品平放在于涉色为紫红色的应力仪视场中，移动或旋转试样，使视场中出现亮度最大的干涉色，观察试样各部位的颜色。

7.4 磨口密封性

将水盛入磨口透明石英玻璃器件中，在不涂油脂的情况下，将塞塞紧，使水完全浸润磨口，20s后，用滤纸擦拭，观察水液是否渗出。

8 检验规则

8.1 检验项目

按第6章的要求。

8.2 判定规则

每件产品均需符合第6章中的所有要求，若有一项不合格，则判该件产品不合格。

9 标志、包装、运输和贮存

9.1 标志

9.1.1 每批产品出厂时应附有产品合格证书，内容包括：

a）产品分类（T或D）、产品名称；

b）产品规格；

c）生产批号；

d）标准代号；

e）检验员编号。

9.1.2 包装箱上应有储运图示标志，如“玻璃制品”、“小心轻放”、“请勿倒置”、“防潮”等字样或图形以及产品标记、厂名或商标。

9.2 包装

产品在洁净环境下先单件包装，包装应满足防护、防尘的要求，避免产品的划伤、破损及污染。单件包装后如需再集装时，包装也应满足防护、防尘的要求。产品包装随箱放入产品合格证及装箱单。装箱单应注明数量或重量、装箱日期等。

9.3 运输

在运输及搬运过程中要注意轻拿轻放，应有防雨措施。

9.4 贮存

产品应贮存在无有害气体、干燥清洁的室内。

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