1 范围
本标准规定了半导体用透明石英玻璃管的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等。
本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃管(以下简称石英玻璃管)。冶金、化学工业用透明石英玻璃管也可参照本标准。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 3284 石英玻璃化学成分分析方法
GB/T 4121 石英玻璃热变色性试验方法
GB/T 5949 透明石英玻璃气泡、气线检验方法
GB/T 10701 石英玻璃热稳定性试验方法
GB/T 12442 石英玻璃中羟基含量检验方法
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1 气泡 bubble
石英玻璃管壁内的圆形、椭圆形空穴。
3.2 破皮气泡 open bubble
暴露在石英玻璃管内外表面的开口气泡。
3.3 气线 airline
石英玻璃管壁内或表面平行于管长方向的线状、梭状空穴。
3.4 破皮气线 open airline
暴露在石英玻璃管内外表面的开口气线。
3.5 气泡群 bubble clusters
石英玻璃管壁中，由微小气泡(小于标准中气泡的下限尺寸)密集而成的群集气泡。
3.6 色线 colorline
石英玻璃管上带有颜色的线条。
3.7 色斑 discoloration
石英玻璃管壁上的带有颜色的点。
3.8 麻点spot
石英玻璃管壁上的小斑点。
3.9 杂质 impurity
石英玻璃组成中的二氧化硅Si02)以外的组分。
3.10 生料颗粒 batch particle
石英玻璃管中未熔化的石英颗粒。
3.11 透明颗粒 transparent particle
石英玻璃管中的透明石英颗粒。
3.12 波纹 ripple
石英玻璃管的内、外壁表面呈现轴向的波浪形凹凸不平。
3.13 沟棱 striation
石英玻璃管表面在长度方向形成的凹凸不平的沟槽和凸棱。
3.14 揪痕 scratch
排除石英玻璃管壁上外观缺陷后留下的痕迹。
3.15 暗疤 dark stripe
石英玻璃管壁呈现的一种斜状、透明、有明显界面的玻璃态(俗称雪花，破皮和梅花)。
3.16 炸裂 thermal crack
石英玻璃管经急冷急热而产生的裂纹或破裂。
3.17 崩落 flake off
石英玻璃管表面呈贝壳状的破损。
3.18 晶纹 regular microcrack
石英玻璃管中呈“人”字或“一”字形的微小裂纹。
3.19 析晶 devitrification
石英玻璃管析出晶体造成的失透。
3.20 桔皮 orange peel
石英玻璃管外观呈现的象桔子皮似的缺陷。
3.21 云雾 vapor
石英玻璃管表壁上附着的白色不透明二氧化硅(Si02)挥发物。
3.22 椭圆度 ovality
石英玻璃管同一横截面上最大、最小直径之差除以公称直径，以百分数表示。
3.23 偏壁度 siding
石英玻璃管同一横截面上最大、最小壁厚之差除以公称壁厚，以百分数表示。
3.24 弯曲度 bow
石英玻璃管在长度方向的平直程度。
4 分类和标记
4.1 分类
按用途分为太阳能级透明石英玻璃管(T级)和电子级透明石英玻璃管(级)。
4.2 标记
产品按分类(或D)、产品名称、产品规格、生产批号和标准编号的顺序标记。
示例:符合J/T597-2011，外径为200m，长度为1000m，生产批号为20090710的太阳能级透明石英玻璃管标记为：
T石英玻璃管-200×1000-20090710-Jc/T597-2011
更多标准内容点击以下链接获取标准全文：
下载地址：《JC/T 597-2011 半导体用透明石英玻璃管》
一个工作日加急检测
7*24小时快速响应
十五年检测经验
检测精准，价格透明
超过百个检测网点
客服热线